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| 专利/申请号： | CN202222081369.2 | 专利名称： | 一种晶圆单片式清洗机的化学药液配比系统 |
| 申请日： | 2022-08-09 | 申请/专利权人 | 华林科纳(江苏)半导体设备有限公司 |
| 专利类型： | 实用新型 | 地址： | 江苏省南通市如皋市城南街道新桃路90号 |
| 专利状态： | 已下证 查询审查信息 | IPC分类号： | B01F35/80 分类检索 |
| 公开/公告日： | 2023-02-03 | 转让价格： | 【平台担保交易】 |
| 公开/公告号： | CN218422595U | 交易状态： | 等待洽谈 搜索相似专利 |
| 浏览量： | 40 | 所属领域： | 半导体制造设备 晶圆清洗技术专利转让搜索 |
应用场景：半导体晶圆表面污染物去除;集成电路生产线前道工序清洗;高洁净度芯片制造工艺配套;代工厂商(Foundry)量产环境应用
摘 要：本实用新型提供有一种晶圆单片式清洗机的化学药液配比系统，包括固定安装在清洗机上的混合筒和通过连接架固定安装在混合筒上方的储药箱以及固定安装在连接架上的控制器，所述混合筒的内部转动连接有与控制器之间进行电连接的搅拌机构，所述混合筒的一侧连通有一端设置有第一电磁阀的输液管。该晶圆单片式清洗机的化学药液配比系统，通过控制器、连接管、第二电磁阀、和流量计的配合使用，使得系统能够通过控制器控制第二电磁阀进行启停作业，进而控制第一储液仓、第二储液仓、第三储液仓和第四储液仓内部的原液按照预设的比例加入混合筒的内部进行混合搅拌，实现化学药液的自动配比，十分方便。
| 交易方 | 企业 | 个人 |
| 买家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（签字） |
| 专利转让委托书（需盖公章）一式两份 | 专利转让委托书（需签字）一式两份 | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 卖家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（需申请人签字） |
| 解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请） | 解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请） | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
| 专利证原件（若授权下证） | 专利证原件（若授权下证） |
| 日期 | 法律信息 | 备注 |
| 申请号 | 专利名称 | 发布日期 |
| 2023211918435 | 【实用新型】一种带有除尘效果的混合机 | 2025/10/16 |
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