发明专利已授权

一种光刻机物镜结构

Name: 一种光刻机物镜结构
Brand: 张家港奇点光电科技有限公司
SKU: 202310719268X
Availability: InStock

📄 申请号：CN202310719268.X 📄 发布日：2026/08/18

著录项目信息

申请日

2023-06-16

公开号

CN116500870B

公开日

2026-08-14

申请人

张家港奇点光电科技有限公司

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

G03F7_20

IPC 分类号

G03F7_20

技术画像

所属领域

光学系统光学系统精密光学元件光刻设备

应用场景

半导体制造, 集成电路光刻, 芯片加工, 微纳加工

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摘要

本发明涉及光刻机物镜技术领域，尤其为一种光刻机物镜结构，包括物镜主体、水冷装置和散热装置，所述物镜主体外侧与水冷装置固定连接，所述水冷装置远离物镜主体的一侧与散热装置固定连接，所述物镜主体包括外壳、镜片主体和定位装置，所述外壳的个数共有四个，且四个所述外壳在镜片主体外侧呈均匀分布，所述镜片主体外侧设置在外壳一侧，本发明中，通过设置的外壳、镜片主体、固定盖、定位装置、夹持块、推板、螺丝、连接板、定位环、螺栓和定位主体，可以方便的对镜片主体和水冷装置进行组装，同时在夹持板对外壳进行夹持时，在第一弹簧的作用下，使限位板可以对两个外壳进行夹持，使外壳安装更加稳定，方便对镜片主体进行安装和拆卸。

常见问题

这项专利是否已经下证？

是的，该专利已下证，法律状态为“已下证”，公开号： CN116500870B

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……

图1

图2

图3

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议价

不含过户费

📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：51 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 未申报

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🏢 淄博智来知识产权服务有限公司

✓ 企业认证✓ 手机绑定历史成交 3件好评率 98.5%

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