发明专利已授权

一种高寿命低变形率石英坩埚及其制备方法

📄 申请号：CN202111578030.7 📄 发布日：2025/09/08

著录项目信息

申请日

2021-12-22

公开号

CN114230154A

公开日

2022-03-25

申请人

东海县太阳光新能源有限公司

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

C03B20_00

IPC 分类号

C03B20_00 , C03B19_02 , C03B19_06 , C03C17_00 , C03C17_22 , C03C17_23 , C04B35_66 , C04B35_14 , C04B35_622 , C04B41_87 ,

技术画像

所属领域

坩埚石英陶瓷高纯石英材料无机非金属材料坩埚

应用场景

单晶硅拉制, 光伏硅片制造, 半导体硅片制造, 晶体生长

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摘要

本发明公开了一种高寿命低变形率石英坩埚及其制备方法，高寿命低变形率石英坩埚包括石英坩埚本体和设置在石英坩埚本体外侧表面的散热涂层；其中，石英坩埚本体是由硅溶胶和石英砂粉末制备而成；散热涂层是由硅溶胶和氮化铝/硅化镍复合微球复合而成。所述硅溶胶中二氧化硅的质量浓度为20％～30％，硅溶胶和石英砂粉末的质量比为1:0.2～0.4，氮化铝/硅化镍复合微球与硅溶胶的质量比为1:6～12。本发明制备的石英坩埚具有高寿命、低变形率、散热均匀、抗热抗震性高的优点。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

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