一种立体式半导体晶圆自动清洗机

摘     要：本发明属于半导体晶圆技术领域，尤其是一种立体式半导体晶圆自动清洗机，包括清洗槽和立式传送带，多个清洗槽活动设置在立式传送带的外表面铰接垂直分布，还包括安装在立式传送带的一侧用于锁紧清洗槽的推动机构、安装在清洗槽上的过滤装置以及防挥发装置。该立体式半导体晶圆自动清洗机，通过设置过滤装置，能够对清洗槽内的清洗液进行过滤后再次使用，减少清洗液更换的次数，防止清洗液清洗多次后影响对晶圆的清洗效果，通过过滤弧板的偏转，能够对清洗液内的杂质进行过滤，使得过滤后的水位于过滤弧板的上方，便于晶圆的清洗，从而减小对晶圆的伤害，解决了清洗槽内的清洗液需要定时更换，造成清洗液的浪费的技术问题。

著 录 项： 

• 1． 买家选定所需专利，确认国家手续办理方，下单，确认交易合同；
  2． 卖家确认专利可交易；
  3． 买家支付交易款项到平台；
  4． 买卖双方签订《专利转让委托书》、《转让协议》、《解除代理委托书》各一式两份并提交给办理国家手续方；
  5． 办理国家手续方提交办理官方手续，国家知识产权局1个月左右下发《著录项目变更手续合格通知书》；
  6． 买家确认收到《专利证书》、《著录项目变更手续合格通知书》；
  7． 平台把交易款项支付给卖家，至此专利转让合同完成。
  

• 交易方	企业	个人
  买家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（签字）
  	专利转让委托书（需盖公章）一式两份	专利转让委托书（需签字）一式两份
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  卖家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（需申请人签字）
  	解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请）	解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请）
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  	专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件	专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件
  	专利证原件（若授权下证）	专利证原件（若授权下证）

• 日期

  法律信息

  备注