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著 录 项 目:
专利/申请号: | CN202420847656.6 | 专利名称: | 一种电子芯片晶圆研磨装置 |
申请日: | 2024-04-23 | 申请/专利权人 | 江苏明芯微电子股份有限公司 |
专利类型: | 实用新型 | 地址: | 江苏省南通市海安市老坝港镇工业园区 |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | B24B37/04分类检索 半导体专利转让搜索 |
公开/公告日: | 2025-01-14 | 转让价格: | 面议 【平台担保交易】 |
公开/公告号: | CN222345190U | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
摘 要:一种电子芯片晶圆研磨装置,包括加工台,加工台的顶部开设有研磨槽,且研磨槽的内部安装有过滤板,过滤板的上方设置有研磨片,加工台的上方通过支架焊接有设备顶板,设备顶板的底部安装有转盘,且转盘的上方设置有研磨电机,研磨电机通过螺栓固定安装在设备顶板上,转盘的下方安装有升降气缸,且升降气缸的伸缩端固定连接有晶圆吸盘,升降气缸的伸缩端所在轴线与转盘的竖直中心线相交错。晶圆通过晶圆吸盘吸附在晶圆吸盘底部,并通过升降气缸伸入研磨槽内,与研磨片相接触,晶圆在转盘的带动下沿研磨片的竖直中心线做圆周运动,实现对晶圆的研磨工作,由于晶圆并不直接放置在研磨槽内,拿取时只需要将晶圆与晶圆吸盘相互分离即可,操作方便。
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
专利转让委托书(需盖公章)一式两份 | 专利转让委托书(需签字)一式两份 | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
解除代理委托书(需盖公章)一式两份(如专利通过代理机构申请) | 解除代理委托书(需签字)一式两份(如专利通过代理机构申请) | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
专利证原件(若授权下证) | 专利证原件(若授权下证) |
日期 | 法律信息 | 备注 |