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| 专利/申请号： | CN202420847656.6 | 专利名称： | 一种电子芯片晶圆研磨装置 |
| 申请日： | 2024-04-23 | 申请/专利权人 | 江苏明芯微电子股份有限公司 |
| 专利类型： | 实用新型 | 地址： | 江苏省南通市海安市老坝港镇工业园区 |
| 专利状态： | 已下证 查询审查信息 | IPC分类号： | B24B37/04 分类检索 |
| 公开/公告日： | 2025-01-14 | 转让价格： | 【平台担保交易】 |
| 公开/公告号： | CN222345190U | 交易状态： | 等待洽谈 搜索相似专利 |
| 浏览量： | 30 | 所属领域： | 半导体专利转让搜索 |
摘 要：一种电子芯片晶圆研磨装置，包括加工台，加工台的顶部开设有研磨槽，且研磨槽的内部安装有过滤板，过滤板的上方设置有研磨片，加工台的上方通过支架焊接有设备顶板，设备顶板的底部安装有转盘，且转盘的上方设置有研磨电机，研磨电机通过螺栓固定安装在设备顶板上，转盘的下方安装有升降气缸，且升降气缸的伸缩端固定连接有晶圆吸盘，升降气缸的伸缩端所在轴线与转盘的竖直中心线相交错。晶圆通过晶圆吸盘吸附在晶圆吸盘底部，并通过升降气缸伸入研磨槽内，与研磨片相接触，晶圆在转盘的带动下沿研磨片的竖直中心线做圆周运动，实现对晶圆的研磨工作，由于晶圆并不直接放置在研磨槽内，拿取时只需要将晶圆与晶圆吸盘相互分离即可，操作方便。
| 交易方 | 企业 | 个人 |
| 买家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（签字） |
| 专利转让委托书（需盖公章）一式两份 | 专利转让委托书（需签字）一式两份 | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 卖家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（需申请人签字） |
| 解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请） | 解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请） | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
| 专利证原件（若授权下证） | 专利证原件（若授权下证） |
| 日期 | 法律信息 | 备注 |
| 申请号 | 专利名称 | 发布日期 |
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