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摘 要:本发明涉及半导体晶片清洗技术领域,具体而言,涉及一种用于半导体晶片的清洗装置,包括:超声波清洗机,安装在所述超声波清洗机侧面的固位支架,水平安装在所述固位支架上的传输机构,斜向设置在所述固位支架上的底面平板,铰接在所述底面平板下端的挡板,等间距连接在所述底面平板上端的若干沿顺条,设置在所述超声波清洗机后方的线性移动机构,阵列安装在所述线性移动机构上的若干支柱,安装在若干所述支柱上的夹取刷洁部,设置在所述夹取刷洁部上的下放机构,不仅能够防止在批量清洗的情况下半导体晶片之间互相影响,而且能够彻底杜绝外物在清洗时对体积较小的半导体晶片造成干扰,有力地保证了清洗效率和清洗效果。
著 录 项:
专利/申请号: | CN202411174303.5 | 专利名称: | 一种用于半导体晶片的清洗装置 |
申请日: | 2024-08-26 | 申请/专利权人 | 无锡盟璨智能科技有限公司 |
专利类型: | 发明 | 地址: | 江苏省无锡市经济开发区华庄街道高浪东路508号B405-21 |
专利状态: | 授权未缴费 查询审查信息 | 分类号: | H01L21/67搜分类 半导体搜索 |
公开/公告日: | 2025-01-10 | 转让价格: | 面议 |
公开/公告号: | CN119297107A | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
专利转让委托书(需盖公章)一式两份 | 专利转让委托书(需签字)一式两份 | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
解除代理委托书(需盖公章)一式两份(如专利通过代理机构申请) | 解除代理委托书(需签字)一式两份(如专利通过代理机构申请) | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
专利证原件(若授权下证) | 专利证原件(若授权下证) |
日期 | 法律信息 | 备注 |