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摘 要:本申请属于晶圆加工设备技术领域,公开了一种晶圆加工用可调式定位夹具,包括底座,底座的顶端设有固定框架,固定框架的前后两端侧壁上均设有调节滑槽,两个调节滑槽内均设有连接螺杆,连接螺杆的外壁上均活动套接有锁紧螺帽,固定框架内共设有两个夹持机构和两个按压机构,且两个按压机构分别位于两个夹持机构的右侧,夹持机构包括支撑块,支撑块的顶端前后两侧均设有调节螺杆,调节螺杆的顶端均连接有升降板,升降板上设有螺纹贯穿通孔,升降板上的螺纹贯穿通孔内设有夹持螺杆,两根夹持螺杆相互靠近的一侧均设有弧形块,本申请便于根据硅晶棒的直径尺寸对定位夹具进行调节,避免无法对硅晶棒进行夹持固定。
著 录 项:
专利/申请号: | CN202321909523.9 | 专利名称: | 一种晶圆加工用可调式定位夹具(半导体加工、喷胶机、电子元器件、集成电路 芯片 硅半导体电路 硅晶片) |
申请日: | 2023-07-20 | 申请/专利权人 | 上海祎丰环保科技有限公司 |
专利类型: | 实用新型 | 地址: | 上海市金山区亭林镇松隐育才路121弄22号1幢128室 |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | B28D7/04搜分类 半导体搜索 |
公开/公告日: | 2024-01-23 | 转让价格: | 1900.0元 |
公开/公告号: | CN220373637U | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
专利转让委托书(需盖公章)一式两份 | 专利转让委托书(需签字)一式两份 | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
解除代理委托书(需盖公章)一式两份(如专利通过代理机构申请) | 解除代理委托书(需签字)一式两份(如专利通过代理机构申请) | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
专利证原件(若授权下证) | 专利证原件(若授权下证) |
日期 | 法律信息 | 备注 |