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摘 要:本发明提供一种大面积水平耗尽型中子探测器及其制备方法。该中子探测器包括:基底;吸收层,位于基底上,吸收层由CuInSe2形成;CdS层,位于吸收层上并且与吸收层形成异质结,CdS层包括暴露吸收层的至少一部分的第一接触孔;ZnO层,位于CdS层上,并且包括与第一接触孔对应且暴露CdS层的至少一部分的第二接触孔;第一电极,与ZnO层接触;第二电极,通过第一接触孔和第二接触孔与吸收层接触,并且与第一电极隔开预定距离。本发明采用诸如CuInSe2/CdS半导体异质结层替代SiC来制备耐辐照的半导体中子探测器,一方面可以降低成本,另一方面可以克服大面积面阵型探测器制作上的难题。
著 录 项:
专利/申请号: | CN201510337321.5 | 专利名称: | 一种大面积水平耗尽型中子探测器及其制备方法 |
申请日: | 2015-06-17 | 申请/专利权人 | 深圳先进技术研究院 |
专利类型: | 发明 | 地址: | 广东省深圳市南山区西丽大学城学苑大道1068号 |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | H01L31/115 半导体 |
公开/公告日: | 2018-06-22 | 转让价格: | 面议 |
公开/公告号: | CN106257693B | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
专利转让委托书(需盖公章)一式两份 | 专利转让委托书(需签字)一式两份 | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
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专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
专利证原件(若授权下证) | 专利证原件(若授权下证) |
日期 | 法律信息 | 备注 |