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摘 要:本发明公开了一种吸收波长可调的太赫兹波探测装置及其制备方法,制备方法包括:提供衬底,在所述衬底上制作形成支撑层;在所述支撑层上制作形成热敏层;在所述支撑层和所述热敏层上制作形成导电层;在所述热敏层上制作形成吸收层;在所述衬底的背向所述吸收层的表面上制作通光孔;提供基座和可动反射镜,将所述可动反射镜安装于所述基座上;将所述基座与所述衬底固定连接,使得所述吸收层与所述可动反射镜的反射面平行对准。本发明公开的制备方法,工艺简单,将探测器和调谐波长的可动反射镜分离开,可使得探测装置的探测范围覆盖整个太赫兹波段,同时新的薄膜工艺有助于提高探测率,降低热响应时间常数。
著 录 项:
专利/申请号: | CN201711382784.9 | 专利名称: | 吸收波长可调的太赫兹波探测装置及其制备方法 |
申请日: | 2017-12-20 | 申请/专利权人 | 中国科学院深圳先进技术研究院 |
专利类型: | 发明 | 地址: | 广东省深圳市南山区深圳大学城学苑大道1068号 |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | G01N21/3581搜分类 报警器搜索 |
公开/公告日: | 2021-07-16 | 转让价格: | 面议 |
公开/公告号: | CN109946261B | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
专利转让委托书(需盖公章)一式两份 | 专利转让委托书(需签字)一式两份 | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
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专利证原件(若授权下证) | 专利证原件(若授权下证) |
日期 | 法律信息 | 备注 |