激光投影虚拟校正设备和方法

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摘     要：本发明的实施例提供了一种激光投影虚拟校正设备和方法，涉及半导体技术领域，该激光投影虚拟校正设备包括转动设置在一腔室内的研磨平台、设置在研磨平台上以实现晶片研磨的研磨组件，以及设置在腔室的顶部和/或侧壁上的激光投影器；其中，激光投影器用于向研磨平台发射激光，并在研磨平台上形成与预设图像信息相匹配的定位投影。相较于现有技术中的实体治具，本发明通过激光形成虚拟治具，从而使得在校正过程中研磨平台与激光投影器之间没有直接接触，不会造成污染，也无需更换耗材，降低了耗材成本。

• 1． 买家选定所需专利，确认国家手续办理方，下单，确认交易合同；
  2． 卖家确认专利可交易；
  3． 买家支付交易款项到平台；
  4． 买卖双方签订《专利转让委托书》、《转让协议》、《解除代理委托书》各一式两份并提交给办理国家手续方；
  5． 办理国家手续方提交办理官方手续，国家知识产权局1个月左右下发《著录项目变更手续合格通知书》；
  6． 买家确认收到《专利证书》、《著录项目变更手续合格通知书》；
  7． 平台把交易款项支付给卖家，至此专利转让合同完成。
  

• 交易方	企业	个人
  买家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（签字）
  	专利转让委托书（需盖公章）一式两份	专利转让委托书（需签字）一式两份
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  卖家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（需申请人签字）
  	解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请）	解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请）
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  	专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件	专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件
  	专利证原件（若授权下证）	专利证原件（若授权下证）

• 日期

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