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| 专利/申请号： | CN202010880566.3 | 专利名称： | 针压适配方法、装置、针测设备及可读存储介质 |
| 申请日： | 2020-08-27 | 申请/专利权人 | 泉芯集成电路制造(济南)有限公司 |
| 专利类型： | 发明 | 地址： | 山东省济南市高新区机场路7617号411-2-9室 |
| 专利状态： | 已下证 查询审查信息 | IPC分类号： | G01R31/26 分类检索 |
| 公开/公告日： | 2023-04-21 | 转让价格： | 【平台担保交易】 |
| 公开/公告号： | CN112014710B | 交易状态： | 等待洽谈 搜索相似专利 |
| 浏览量： | 5 | 所属领域： | 计算机硬件专利转让搜索 |
应用场景：芯片封装测试中的探针压力调节;晶圆级测试设备的自动化校准
摘 要：本申请提供一种针压适配方法、装置、针测设备及可读存储介质，涉及半导体制程领域。本申请通过获取探针在不同按压高度下针对待测晶圆中多个元件单元通过第一测试键及第二测试键分别量测得到的第一电阻量测值和第二电阻量测值，并针对每个元件单元，根据该元件单元在不同按压高度下的第一电阻量测值及第二电阻量测值，计算探针在不同按压高度下与该元件单元对应的接触电阻值，进而根据该探针在不同按压高度下与多个元件单元对应的接触电阻值的分布状况，确定出与待测晶圆真实适配的目标探测高度，并以该目标探测高度所对应的针压大小，作为该待测晶圆所适配的能够达到最佳量测效果的最佳针压，从而确保待测晶圆的量测精准度。
| 交易方 | 企业 | 个人 |
| 买家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（签字） |
| 专利转让委托书（需盖公章）一式两份 | 专利转让委托书（需签字）一式两份 | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 卖家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（需申请人签字） |
| 解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请） | 解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请） | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
| 专利证原件（若授权下证） | 专利证原件（若授权下证） |
| 日期 | 法律信息 | 备注 |
| 申请号 | 专利名称 | 发布日期 |
| 2025102275257 | 【发明】一种磁吸吸盘式电力仪表 | 2025/11/04 |
| 2023208146896 | 【实用新型】一种防雷元件测试装置 | 2025/11/03 |
| 2024210132909 | 【实用新型】一种防雷元件测试仪 | 2025/11/03 |
| 2023229303810 | 【实用新型】一种便携式车辆检测装置 | 2025/11/03 |
| 2023234048910 | 【实用新型】耐寒放电试验装置 | 2025/11/03 |
| 2022227652174 | 【实用新型】大容量高电压变压器交流耐压成套装置 | 2025/11/03 |
| 2022227653798 | 【实用新型】SF6气体密度继电器低温校验装置 | 2025/11/03 |
| 2022225362092 | 【实用新型】一种直流输电阀厅直流耐压电气性能综合试验设备 | 2025/11/03 |
| 2021222038266 | 【实用新型】移动式大容量工频耐压装置 | 2025/11/03 |
| 2021221590517 | 【实用新型】一种工频磁控串联谐振高压试验装置 | 2025/11/03 |
