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专利名称：激光投影虚拟校正设备和方法申请号：2020109696682 转让价格：面议收藏
法律状态：已下证类型：发明关键词：半导体激光投影相似专利发布日：2024/10/30
摘要：本发明的实施例提供了一种激光投影虚拟校正设备和方法，涉及半导体技术领域，该激光投影虚拟校正设备包括转动设置在一腔室内的研磨平台、设置在研磨平台上以实现晶片研磨的研磨组件，以及设置在腔室的顶部和/或侧壁上的激光投影器；其中，激光投影器用于向研磨平台发射激光，并在研磨平台上形成与预设图像信息相匹配的定位投影。相较于现有技术中的实体治具，本发明通过激光形成虚拟治具，从而使得在校正过程中研磨平台与激光投影器之间没有直接接触，不会造成污染，也无需更换耗材，降低了耗材成本。

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