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摘 要:本申请提供一种芯片电镀系统及芯片电镀控制方法,涉及集成电路制造技术领域。本申请通过盛液装置的容置槽盛放电镀液,并在容置槽内设置板面与槽底表面平行的推板,安装在盛液装置上的气压缸通过传动杆与推板连接,由气压缸带动推板在电镀液内移动以调节电镀液面高度。本申请通过芯片夹持设备夹持着待镀芯片朝向容置槽的槽底移动,而后由与气压缸及芯片夹持设备分别电性连接的控制设备,对气压缸及芯片夹持设备各自的工作状态进行控制,使气压缸与芯片夹持设备相互配合地将待镀芯片浸入电镀液中,并针对芯片表面附着的气泡施加相向的两股压力,增强气泡排挤力度,从而尽可能地降低电镀浸液过程中芯片表面的空气残留,改善电镀铜坑缺陷。
著 录 项:
专利/申请号: | CN202011615619.5 | 专利名称: | 芯片电镀系统及芯片电镀控制方法 |
申请日: | 2020-12-30 | 申请/专利权人 | 泉芯集成电路制造(济南)有限公司 |
专利类型: | 发明 | 地址: | 山东省济南市高新区机场路7617号411-2-9室 |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | C25D17/00搜分类 集成电路搜索 |
公开/公告日: | 2021-11-02 | 转让价格: | 面议 |
公开/公告号: | CN112813482B | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
专利转让委托书(需盖公章)一式两份 | 专利转让委托书(需签字)一式两份 | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
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专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
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专利证原件(若授权下证) | 专利证原件(若授权下证) |
日期 | 法律信息 | 备注 |