发明专利 已授权

一种金刚石线电沉积生产设备的上砂结构

📄 申请号:CN202010690814.8 📄 发布日:2026/10/08

著录项目信息

申请日
2020-07-17
公开号
CN112095135B
公开日
2021-11-30
申请人
王桂银
法律状态
已下证
专利类型
发明
主分类号

技术画像

所属领域

应用场景

光伏硅片切割, 半导体晶圆切割, 蓝宝石切割, 精密加工, 金刚石线生产

摘要

本发明提供一种新型金刚石线电沉积生产设备的上砂结构,其特征在于:上砂子槽以一个以上的隔板分割成数个独立槽体;独立槽体底部设置有进液口;上砂子槽端部设置有回流槽,回流槽与每个独立槽体连接,回流槽通过回流管道与储液母槽相连;搅拌电机的电机轴连接并驱动搅拌杆,搅拌杆上固设有搅拌叶片,搅拌叶片位于储液母槽内部;出液管道一端与储液母槽底部出口连接,另一端与泵进口连接;泵出口管道一端与泵出口连接,另一端与每个独立槽体底部的进液口连接。本发明提供了一种效率高、多线位互不干涉的金刚石线电沉积生产设备的上砂机构。

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权利要求书 (12项) 说明书 附图

……

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图1
图2
图3

法律状态时间线

20251125
⏳ 文件的公告送达 :
20251021
?? 专利权的转移 :
20211130
✅ 授权
20210105
?? 实质审查的生效 :
20201218
📄 公开

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