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摘 要:本实用新型涉及一种金刚石基欧姆接触结构,属于半导体材料与器件技术领域。该金刚石基欧姆接触结构,包括金刚石衬底,金刚石衬底的表面设有欧姆接触电极,欧姆接触电极包括两层金属电极层,接触金刚石衬底的第一电极层为Ni金属层,第一电极层的上层为第二电极层,第二电极层为化学惰性金属层。金刚石衬底表面上还可预先设有单晶金刚石外延薄膜。在金刚石材料衬底上沉积第一电极层,在第一电极层上沉积第二电极层,之后进行快速退火形成耐高温金刚石基欧姆接触结构。本实用新型的金刚石基欧姆接触结构在高温下有良好的热稳定性和电学特性,同时显著提高了金属电极与金刚石材料之间的黏附性。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
著 录 项:
专利/申请号: | CN202021193069.8 | 专利名称: | 一种金刚石基欧姆接触结构 |
申请日: | 2020-06-24 | 申请/专利权人 | 内蒙古工业大学 |
专利类型: | 实用新型 | 地址: | 内蒙古自治区呼和浩特市新城区爱民街49号 |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | H01L21/285搜分类 其他搜索 |
公开/公告日: | 2021-02-02 | 转让价格: | 面议 |
公开/公告号: | CN212461601U | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
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卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
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日期 | 法律信息 | 备注 |