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一种金刚石基欧姆接触结构

来源:https://www.shizifang.com  发布日:2024/07/25

摘     要:本实用新型涉及一种金刚石基欧姆接触结构,属于半导体材料与器件技术领域。该金刚石基欧姆接触结构,包括金刚石衬底,金刚石衬底的表面设有欧姆接触电极,欧姆接触电极包括两层金属电极层,接触金刚石衬底的第一电极层为Ni金属层,第一电极层的上层为第二电极层,第二电极层为化学惰性金属层。金刚石衬底表面上还可预先设有单晶金刚石外延薄膜。在金刚石材料衬底上沉积第一电极层,在第一电极层上沉积第二电极层,之后进行快速退火形成耐高温金刚石基欧姆接触结构。本实用新型的金刚石基欧姆接触结构在高温下有良好的热稳定性和电学特性,同时显著提高了金属电极与金刚石材料之间的黏附性。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利

著 录 项: 

专利/申请号: CN202021193069.8 复制 专利名称: 一种金刚石基欧姆接触结构 复制
申请日: 2020-06-24 申请/专利权人 内蒙古工业大学
专利类型: 实用新型 地址: 内蒙古自治区呼和浩特市新城区爱民街49号
专利状态: 已下证 查询审查信息 分类号: H01L21/285搜分类   其他搜索
公开/公告日: 2021-02-02 转让价格: 面议
公开/公告号: CN212461601U 交易状态: 等待洽谈   搜索相似专利

专利交易流程

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    5. 办理国家手续方提交办理官方手续,国家知识产权局1个月左右下发《著录项目变更手续合格通知书》;
    6. 买家确认收到《专利证书》、《著录项目变更手续合格通知书》;
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专利转让材料

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    专利转让协议(需盖公章)一式两份 专利转让协议(需签字)一式两份
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    专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件
    专利证原件(若授权下证) 专利证原件(若授权下证)

专利法律信息

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