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摘 要:本实用新型涉及扩散炉技术领域,且公开了一种科研型高温扩散炉,解决了现有扩散炉通入气体均匀性差以及隔热保温效果差的问题,其包括炉体,所述炉体的顶端设置有加热组件,炉体内部的一端设置有布气盘,布气盘通过支撑座与炉体想配合连接,布气盘为中空式结构,布气盘的一侧设置有若干排气微孔,布气盘远离排气微孔的一侧设置有内齿圈,布气盘靠近内齿圈一侧的中间位置设置有连接套,连接套的内部设置有进气管,连接套与进气管之间通过气封相配合连接,进气管的另一端与加热组件相配合连接,炉体内部靠近布气盘的一端设置有与内齿圈相匹配的驱动组件;通过该扩散炉能够实现均匀进气,同时具有较好的隔热保温效果。
著 录 项:
专利/申请号: | CN202221751712.3 | 专利名称: | 一种科研型高温扩散炉 |
申请日: | 2022-07-08 | 申请/专利权人 | 青岛赛尔微电子有限公司 |
专利类型: | 实用新型 | 地址: | 山东省青岛市即墨市通济街道办事处邢家岭村 |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | C30B31/10搜分类 其他搜索 |
公开/公告日: | 2022-09-27 | 转让价格: | 2000.0元 |
公开/公告号: | CN217499503U | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
专利转让委托书(需盖公章)一式两份 | 专利转让委托书(需签字)一式两份 | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
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专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
专利证原件(若授权下证) | 专利证原件(若授权下证) |
日期 | 法律信息 | 备注 |