实用新型已授权

一种密封性能好的具有均匀喷淋功能的扩散炉

📄 申请号：CN202122226371.X 📄 发布日：2026/04/02

著录项目信息

申请日

2021-09-15

公开号

CN216427487U

公开日

2022-05-03

申请人

卢其才

法律状态

已下证

专利类型

实用新型

主分类号

C30B31_10

IPC 分类号

C30B31_10 , C30B31_16 , C30B29_06 , H01L31_18 ,

技术画像

所属领域

半导体制造设备半导体制造设备密封结构气体喷淋技术

应用场景

半导体制造, 集成电路制造, 光伏电池制造, 芯片加工, 硅片热处理

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摘要

本实用新型公开了一种密封性能好的具有均匀喷淋功能的扩散炉，包括底座和箱体，所述底座的顶部固定连接有扩散炉本体，所述扩散炉本体内腔的顶部固定连接有壳体，所述扩散炉本体内腔的两侧均固定连接有安装架，所述安装架的一侧固定安装有加热器，所述扩散炉本体内腔的底部固定连接有第一放置架。本实用新型通过第一风机、吸气管、连接口、第一出气管、第二出气管和喷洒头的设置，实现了均匀喷洒的效果，使得太阳能电池片的表面与携带磷源的氮气可以充分的进行反应，大大提高了太阳能电池片的质量，通过密封层、第一密封垫和第二密封垫的设置，防止气体出现泄漏的现象，大大增强了装置整体密封的效果。

常见问题

这项专利是否已经下证？

是的，该专利已下证，法律状态为“已下证”，公开号： CN216427487U

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当前标价为 2000.0 元，不含过户费。支持议价，可委托平台代购或预约谈判。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

20220503

✅ 授权

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当前第 / 件

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¥2000.0 元

不含过户费

📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：77 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 未申报

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