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| 专利/申请号： | CN202421141057.9 | 专利名称： | 一种组合式碳化硅扩散炉管 |
| 申请日： | 2024-05-23 | 申请/专利权人 | 山东鑫泓新材料有限公司 |
| 专利类型： | 实用新型 | 地址： | 山东省淄博市淄川区岭子镇巩家坞村岭子镇工业园2号 |
| 专利状态： | 已下证 查询审查信息 | IPC分类号： | C30B31/16 分类检索 |
| 公开/公告日： | 2025-01-28 | 转让价格： | 【平台担保交易】 |
| 公开/公告号： | CN222411996U | 交易状态： | 等待洽谈 搜索相似专利 |
| 浏览量： | 74 | 所属领域： | 半导体专利转让搜索 |
摘 要：本实用新型涉及扩散炉管技术领域，具体为一种组合式碳化硅扩散炉管，包括炉管本体，所述炉管本体的内壁设有均匀进气组件，所述炉管本体的端插接在管帽的中部，所述炉管本体的内壁固定连接有两个导向条，两个所述导向条之间滑动连接有石英舟，有益效果为：通过将储气腔充满工艺气体，打开密封环，这时工艺气体会从进气孔进入到炉管本体内部，由于若干组进气孔为环形等距分布，因此能够同时将工艺气体排放至硅片上，达到均匀进气的目的，通过将储气腔设置在炉管本体内壁中，并将电动推杆、密封环和连接杆均设置在储气腔内，避免了占用炉管本体内部空间，从而将更大的石英舟放入炉管本体内，增加了一次性能够加热的硅片数量。
| 交易方 | 企业 | 个人 |
| 买家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（签字） |
| 专利转让委托书（需盖公章）一式两份 | 专利转让委托书（需签字）一式两份 | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 卖家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（需申请人签字） |
| 解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请） | 解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请） | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
| 专利证原件（若授权下证） | 专利证原件（若授权下证） |
| 日期 | 法律信息 | 备注 |
| 申请号 | 专利名称 | 发布日期 |
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