一种组合式碳化硅扩散炉管

摘     要：本实用新型涉及扩散炉管技术领域，具体为一种组合式碳化硅扩散炉管，包括炉管本体，所述炉管本体的内壁设有均匀进气组件，所述炉管本体的端插接在管帽的中部，所述炉管本体的内壁固定连接有两个导向条，两个所述导向条之间滑动连接有石英舟，有益效果为：通过将储气腔充满工艺气体，打开密封环，这时工艺气体会从进气孔进入到炉管本体内部，由于若干组进气孔为环形等距分布，因此能够同时将工艺气体排放至硅片上，达到均匀进气的目的，通过将储气腔设置在炉管本体内壁中，并将电动推杆、密封环和连接杆均设置在储气腔内，避免了占用炉管本体内部空间，从而将更大的石英舟放入炉管本体内，增加了一次性能够加热的硅片数量。

著 录 项： 

• 1． 买家选定所需专利，确认国家手续办理方，下单，确认交易合同；
  2． 卖家确认专利可交易；
  3． 买家支付交易款项到平台；
  4． 买卖双方签订《专利转让委托书》、《转让协议》、《解除代理委托书》各一式两份并提交给办理国家手续方；
  5． 办理国家手续方提交办理官方手续，国家知识产权局1个月左右下发《著录项目变更手续合格通知书》；
  6． 买家确认收到《专利证书》、《著录项目变更手续合格通知书》；
  7． 平台把交易款项支付给卖家，至此专利转让合同完成。
  

• 交易方	企业	个人
  买家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（签字）
  	专利转让委托书（需盖公章）一式两份	专利转让委托书（需签字）一式两份
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  卖家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（需申请人签字）
  	解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请）	解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请）
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  	专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件	专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件
  	专利证原件（若授权下证）	专利证原件（若授权下证）

• 日期

  法律信息

  备注