咨询电话：13280638997
传真：0533-3110363
邮箱：kefu@shizifang.com
24小时咨询热线13280638997
24小时咨询热线著 录 项 目：
| 专利/申请号： | CN202222364192.7 | 专利名称： | 一种扩散炉管 |
| 申请日： | 2022-09-06 | 申请/专利权人 | 广州市晶泰电子科技有限公司 |
| 专利类型： | 实用新型 | 地址： | 广东省广州市番禺区大龙街东盛路5号四座402 |
| 专利状态： | 已下证 查询审查信息 | IPC分类号： | C30B31/10 分类检索 |
| 公开/公告日： | 2022-12-30 | 转让价格： | 【平台担保交易】 |
| 公开/公告号： | CN218175209U | 交易状态： | 等待洽谈 搜索相似专利 |
| 浏览量： | 2 | 所属领域： | 半导体制造设备 材料加工专利转让搜索 |
应用场景：用于集成电路制造中的晶圆扩散工艺;提升高温环境下的均匀性与稳定性
摘 要：本实用新型涉及一种扩散炉管，扩散炉管包括试管形的石英内管、试管形的石英管帽、圆筒形的石英套管，石英管帽盖在石英内管的管口上，石英内管的中部套在石英套管中，石英套管的两端向内弯曲与石英内管的外侧面固接，石英套管与石英内管之间形成一圈圆环形的保护气体腔，石英套管上设有与保护气体腔连通的保护气体入口和保护气体出口。有益效果是：将保护气体从保护气体入口通入保护气体腔中，然后从保护气体出口排出，带走杂质，对扩散炉的炉壁杂质的隔离作用比较彻底，并能保护石英内管，延长石英内管使用寿命。
| 交易方 | 企业 | 个人 |
| 买家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（签字） |
| 专利转让委托书（需盖公章）一式两份 | 专利转让委托书（需签字）一式两份 | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 卖家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（需申请人签字） |
| 解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请） | 解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请） | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
| 专利证原件（若授权下证） | 专利证原件（若授权下证） |
| 日期 | 法律信息 | 备注 |
| 申请号 | 专利名称 | 发布日期 |
| 202122808447X | 【实用新型】一种成人纸尿裤吸收材料的烘干设备 | 2025/10/15 |
| 2021222450735 | 【实用新型】纸面石膏板生产的烘干装置 | 2025/10/15 |
| 2024228753063 | 【实用新型】一种二次干燥装置 | 2025/10/13 |
| 202422886977X | 【实用新型】用于水泥混凝土养护剂检测的电热鼓风干燥箱 | 2025/10/10 |
| 2022102853732 | 【发明】一种食品加工用烘干装置 | 2025/10/10 |
| 2022210751581 | 【实用新型】一种纸管加工用自动烘干装置 | 2025/09/26 |
| 2018109000363 | 【发明】一种高效率瓶盖烘干装置 | 2025/09/23 |
| 2022229120247 | 【实用新型】一种饮料瓶外侧烘干装置 | 2025/09/23 |
| 2024213081133 | 【实用新型】一种物料框清洗机 | 2025/09/22 |
| 2024203490124 | 【实用新型】一种棉纱纺织用烘干装置 | 2025/09/22 |
