实用新型已授权

一种扩散炉管

Name: 一种扩散炉管
Brand: 广州市晶泰电子科技有限公司
SKU: 2022223641927
Availability: InStock

📄 申请号：CN202222364192.7 📄 发布日：2025/10/31

著录项目信息

申请日

2022-09-06

公开号

CN218175209U

公开日

2022-12-30

申请人

广州市晶泰电子科技有限公司

法律状态

已下证

专利类型

实用新型

主分类号

C30B31_10

IPC 分类号

C30B31_10 , C30B31_16 ,

技术画像

所属领域

半导体设备半导体设备扩散炉热处理设备

应用场景

集成电路制造, 半导体芯片制造, 光伏电池制造, 功率半导体器件制造

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摘要

本实用新型涉及一种扩散炉管，扩散炉管包括试管形的石英内管、试管形的石英管帽、圆筒形的石英套管，石英管帽盖在石英内管的管口上，石英内管的中部套在石英套管中，石英套管的两端向内弯曲与石英内管的外侧面固接，石英套管与石英内管之间形成一圈圆环形的保护气体腔，石英套管上设有与保护气体腔连通的保护气体入口和保护气体出口。有益效果是：将保护气体从保护气体入口通入保护气体腔中，然后从保护气体出口排出，带走杂质，对扩散炉的炉壁杂质的隔离作用比较彻底，并能保护石英内管，延长石英内管使用寿命。

常见问题

这项专利是否已经下证？

是的，该专利已下证，法律状态为“已下证”，公开号： CN218175209U

购买这项专利需要经过哪些流程？

平台提供担保交易、全程代办转让手续。买家可委托平台代购，平台协助完成权属尽调、合同签署、国家知识产权局著录项目变更等流程。

该专利的转让价格是多少？

当前标价为议价，可委托平台代购或预约谈判。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种晶闸管冷压封装设备

当前第 / 件

一种具有引导晶闸管的高频晶闸管芯片

同领域国内专利 · IPC: (C30B31_10)

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议价

不含过户费

📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：172 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 未申报

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🏢 淄博智来知识产权服务有限公司

✓ 企业认证✓ 手机绑定历史成交 2657件好评率 98.5%

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