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摘 要:本发明涉及了一种硫化锑基可见光光电探测器的制备方法,属于无机非金属材料器件制造工艺领域,首先采用溶胶-凝胶法在FTO上制备一层致密的二氧化钛薄膜;二氧化钛薄膜经过退火后使用热蒸镀沉积硫化锑(Sb2S3)薄膜;然后使用硫代乙酰胺对硫化锑薄膜进行表面硫化同时进行退火处理;最后将化学气相沉积(CVD)法生长的石墨烯薄膜(Gr)转移到硫化锑薄膜上,形成TiO2/Sb2S3/Gr薄膜结构的可见光探测器,为制作高性能的可见光探测器提供了新的方法。该光电探测器可以在可见光有很高的响应且对不同波长的可见光具有不同的响应电流,同时随入射光强的增加响应电流线性增加。
著 录 项:
专利/申请号: | CN201711002158.2 | 专利名称: | 一种硫化锑基光电探测器的制备方法 |
申请日: | 2017-10-24 | 申请/专利权人 | 三峡大学 |
专利类型: | 发明 | 地址: | 湖北省宜昌市大学路8号 |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 关键词: | 其他 相似专利 |
公开/公告日: | 2018-03-20 | 转让价格: | 面议 |
公开/公告号: | CN107819044A | 交易状态: | 等待洽谈 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(最新年检需盖公章)与组织机构代码副本复印件(需盖公章)一个专利各一份 | 身份证复印件(签字) |
专利转让委托书(需盖公章)一式两份 | 专利转让委托书(需签字)一式两份 | |
专利协议(需盖公章)一式两份 | 专利协议(需签字)一式两份 | |
卖家 | 营业执照副本复印件(最新年检需盖公章)组织机构代码副本复印件(需盖公章)一个专利各一份 | 身份证复印件(需申请人签字) |
解除代理委托书(需盖公章)一式两份(如专利通过代理机构申请) | 解除代理委托书(需签字)一式两份(如专利通过代理机构申请) | |
专利协议(需盖公章)一式两份 | 专利协议(需签字)一式两份 | |
专利受理通知书复印件或专利授权通知书复印件 | 专利受理通知书复印件或专利授权通知书复印件 | |
专利证原件(若授权未下证) | 专利证原件(若授权未下证) |
日期 | 法律信息 | 备注 |