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24小时咨询热线摘 要：本发明公开了一种透光性硬质氮化碳薄膜的制备方法，该方法包括以下步骤：清洗玻璃基片；以甲烷为反应气体，采用等离子体增强化学气相沉积技术在玻璃基片表面沉积一层非晶碳薄膜；采用等离子体增强化学气相沉积技术对玻璃基片表面沉积的非晶碳薄膜进行氨气等离子体处理；以甲烷和氨气为反应气体，采用等离子体增强化学气相沉积技术在氨气等离子体处理后的非晶碳表面沉积一层氮化碳薄膜；在高纯氮气气氛中低温热处理氮化碳薄膜。该方法通过修饰玻璃基片表面化学键、优化氮化碳薄膜中氮原子和氢原子含量以及在氮气氛围中采用低温热处理的方法调整薄膜内应力，从而使氮化碳薄膜具有良好的硬度和透光性。
著 录 项：
| 专利/申请号： | CN201711285578.6 | 专利名称： | 一种透光性硬质氮化碳薄膜的制备方法 |
| 申请日： | 2017-12-07 | 申请/专利权人 | 三峡大学 |
| 专利类型： | 发明 | 地址： | 湖北省宜昌市大学路8号 |
| 专利状态： | 已下证 查询审查信息 | 分类号： | C23C16/34搜分类 塑料 氮化碳 膜的制备方法搜索 |
| 公开/公告日： | 2018-06-15 | 转让价格： | 面议 |
| 公开/公告号： | CN108165952A | 交易状态： | 等待洽谈 搜索相似专利 |
| 交易方 | 企业 | 个人 |
| 买家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（签字） |
| 专利转让委托书（需盖公章）一式两份 | 专利转让委托书（需签字）一式两份 | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 卖家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（需申请人签字） |
| 解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请） | 解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请） | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
| 专利证原件（若授权下证） | 专利证原件（若授权下证） |
| 日期 | 法律信息 | 备注 |
| 2024/02/06 | 专利实施许可合同备案的生效 | IPC(主分类): C23C 16/34 合同备案号: X2024980000728 专利申请号: 201711285578.6 申请日: 2017.12.07 让与人: 三峡大学 受让人: 河南超美建材有限公司 发明名称: 一种透光性硬质氮化碳薄膜的制备方法 申请公布日: 2018.06.15 授权公告日: 2019.11.08 许可种类: 普通许可 备案日期: 2024.01.16 |
| 2019/11/08 | 授权 | |
| 2018/07/13 | 实质审查的生效 | IPC(主分类): C23C 16/34 专利申请号: 201711285578.6 申请日: 2017.12.07 |
| 2018/06/15 | 公开 |
