咨询电话:13280638997
传真:0533-3110363
邮箱:kefu@shizifang.com
摘 要:本实用新型公开了一种半导体用旋涂仪的多功能转盘,涉及导体用多功能转盘技术领域,包括转盘,所述转盘的外部固定连接有防护圈,所述转盘的底部固定连接有连接端,所述转盘的顶部固定连接有吸附盘,所述吸附盘的外部开设有吸气槽,所述转盘的中部有防滑条,所述转盘的顶部一侧活动连接有取出组件,所述转盘的顶部开设有圆槽,所述转盘的顶部活动连接有连接板,所述连接板的一端底部固定连接有刮刀,所述转盘的外部一侧设置有锁定杆,所述防护圈的一侧开设有排液槽。本实用新型通过防滑条增加与半导体表面的摩擦性,防止滑动位移,在取出时,通过向下按压按板,从而将活动板的另一端向上翘起,从而将制作好的半导体进取出。
著 录 项:
专利/申请号: | CN202322384288.4 | 专利名称: | 一种半导体用旋涂仪的多功能转盘 |
申请日: | 2023-09-04 | 申请/专利权人 | |
专利类型: | 实用新型 | 地址: | |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | B05C13/02搜分类 半导体搜索 |
公开/公告日: | 转让价格: | 面议 | |
公开/公告号: | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
专利转让委托书(需盖公章)一式两份 | 专利转让委托书(需签字)一式两份 | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
解除代理委托书(需盖公章)一式两份(如专利通过代理机构申请) | 解除代理委托书(需签字)一式两份(如专利通过代理机构申请) | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
专利证原件(若授权下证) | 专利证原件(若授权下证) |
日期 | 法律信息 | 备注 |