一种溶液旋涂装置

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摘     要：本实用新型公开了一种溶液旋涂装置，包括旋涂仪本体，所述旋涂仪本体顶端安装有旋转轴，所述垂直螺栓上安装有锁定螺母，所述垂直螺栓底端固定有垂直板，所述垂直板中心贯穿安装有调节螺纹杆，所述调节螺纹杆旋转安装在旋转盘底面，所述旋涂仪本体顶部固定有支架，所述支架顶面中心旋转安装有操作杆，所述操作杆上固定有主动齿轮，所述主动齿轮与从动齿轮啮合连接，所述从动齿轮固定在垂直套筒顶部。该溶液旋涂装置，采用新型的结构设计，通过等角度设置的定位机构能够对不同直径的晶圆进行便捷的定位固定，保证晶圆在旋涂过程中的稳定，同时通过可微调的垂直升降机构，对注射机构与晶圆的距离进行精确的调整，保证光刻胶的准确注射。

• 1． 买家选定所需专利，确认国家手续办理方，下单，确认交易合同；
  2． 卖家确认专利可交易；
  3． 买家支付交易款项到平台；
  4． 买卖双方签订《专利转让委托书》、《转让协议》、《解除代理委托书》各一式两份并提交给办理国家手续方；
  5． 办理国家手续方提交办理官方手续，国家知识产权局1个月左右下发《著录项目变更手续合格通知书》；
  6． 买家确认收到《专利证书》、《著录项目变更手续合格通知书》；
  7． 平台把交易款项支付给卖家，至此专利转让合同完成。
  

• 交易方	企业	个人
  买家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（签字）
  	专利转让委托书（需盖公章）一式两份	专利转让委托书（需签字）一式两份
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  卖家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（需申请人签字）
  	解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请）	解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请）
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  	专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件	专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件
  	专利证原件（若授权下证）	专利证原件（若授权下证）

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