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24小时咨询热线摘 要：本发明提供了一种低干扰电感结构的制造方法，包括：提供一衬底，并在所述衬底的上表面形成一沟槽；在所述沟槽底部形成第一电感结构，所述第一电感结构包括第一中间电极、第一边缘电极、第一电感图案、连接所述第一中间电极与所述第一电感图案的第一导电通孔以及连接所述第一边缘电极与所述第一电感图案的第一斜面连接层；其中，所述第一边缘电极位于所述衬底的上表面，所述第一中间电极位于所述衬底的下表面，所述第一导电通孔贯穿所述沟槽隔离结构的底部与所述衬底的下表面。
著 录 项：
| 专利/申请号： | CN201611096995.1 | 专利名称： | 一种低干扰电感结构的制造方法 |
| 申请日： | 2016-12-02 | 申请/专利权人 | 昆山纳尔格信息科技有限公司 |
| 专利类型： | 发明 | 地址： | 江苏省苏州市昆山开发区黄河南路149号 |
| 专利状态： | 已下证 查询审查信息 | 分类号： | H01L21/02搜分类 干 低 港口搜索 |
| 公开/公告日： | 2019-04-16 | 转让价格： | 面议 |
| 公开/公告号： | CN106653568B | 交易状态： | 等待洽谈 搜索相似专利 |
| 交易方 | 企业 | 个人 |
| 买家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（签字） |
| 专利转让委托书（需盖公章）一式两份 | 专利转让委托书（需签字）一式两份 | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 卖家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（需申请人签字） |
| 解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请） | 解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请） | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
| 专利证原件（若授权下证） | 专利证原件（若授权下证） |
| 日期 | 法律信息 | 备注 |
| 2022/12/23 | 专利权的转移 | 登记生效日: 2022.12.09 专利权人由昆山纳尔格信息科技有限公司变更为美业（苏州）新能源有限公司 地址由226600 江苏省苏州市昆山开发区黄河南路149号变更为213000 江苏省苏州市昆山市周市镇荣晖路1号 |
| 2019/04/16 | 授权 | |
| 2019/04/05 | 专利申请权的转移 | 登记生效日: 2019.03.18 申请人由南通沃特光电科技有限公司变更为昆山纳尔格信息科技有限公司 地址由226300 江苏省南通市南通高新区新世纪大道266号科技之窗变更为226600 江苏省苏州市昆山开发区黄河南路149号 |
| 2017/06/06 | 实质审查的生效 | IPC(主分类): H01L 21/02 专利申请号: 201611096995.1 申请日: 2016.12.02 |
| 2017/05/10 | 公开 |
