发明专利已授权

一种介质阻挡放电石墨烯制备装置及制备方法

📄 申请号：CN202010245255.X 📄 发布日：2025/08/26

著录项目信息

申请日

2020-03-31

公开号

CN111484003B

公开日

2021-10-22

申请人

常州机电职业技术学院

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

C01B32_186

IPC 分类号

C01B32_186

技术画像

所属领域

介质阻挡放电石墨烯材料等离子体技术纳米材料制备介质阻挡放电

应用场景

新材料制备, 电子材料, 储能材料, 导热材料, 复合材料

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摘要

本发明提出了一种介质阻挡放电石墨烯制备装置及制备方法，属于石墨烯制备技术领域。解决了现有石墨烯的制备难以在大气压下进行，同时存在污染和材料缺陷的问题。它包括等离子体处理室、气体供给系统、电源系统和检测分析系统，等离子体处理室采用卧式平板电容结合介质阻挡放电的结构，等离子体处理室包括上电极、石英介质、云母片和下电极，上电极和下电极分别与电源系统两端相连，上电极和下电极之间为放电区域，石英介质表面沉积有钯膜，石英介质与电极相连，云母片一侧沉积单分子碳膜，另一侧沉积金膜，云母片沉积金膜侧与下电极相连，气体供给系统与等离子体处理室，向等离子体处理室内供给气体。它主要用于石墨烯的制备。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

20211022

✅ 授权

20200828

?? 实质审查的生效：

20200804

📄 公开

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