机械手臂及其晶圆传送装置与晶圆检测机台

摘     要：本发明提供了一种机械手臂及其晶圆传送装置与晶圆检测机台，能够更为安全、可靠的承载晶圆，确保晶圆在传送或翻转过程中不易脱落，以此保障晶圆的质量，降低生产成本。本发明的机械手臂包括第一支撑臂、第二支撑臂、驱动单元和真空单元；所述第一支撑臂与第二支撑臂相对设置，所述第一支撑臂的一端设有第一握持部，所述第二支撑臂的一端设有第二握持部；所述驱动单元分别连接第一握持部与第二握持部，以驱动第一握持部与第二握持部相对运动而实现晶圆的夹持；所述真空单元包括设置于第一支撑臂和第二支撑臂上的吸附孔，以通过吸附孔真空吸附所述晶圆的边缘。

著 录 项： 

• 1． 买家选定所需专利，确认国家手续办理方，下单，确认交易合同；
  2． 卖家确认专利可交易；
  3． 买家支付交易款项到平台；
  4． 买卖双方签订《专利转让委托书》、《转让协议》、《解除代理委托书》各一式两份并提交给办理国家手续方；
  5． 办理国家手续方提交办理官方手续，国家知识产权局1个月左右下发《著录项目变更手续合格通知书》；
  6． 买家确认收到《专利证书》、《著录项目变更手续合格通知书》；
  7． 平台把交易款项支付给卖家，至此专利转让合同完成。
  

• 交易方	企业	个人
  买家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（签字）
  	专利转让委托书（需盖公章）一式两份	专利转让委托书（需签字）一式两份
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  卖家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（需申请人签字）
  	解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请）	解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请）
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  	专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件	专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件
  	专利证原件（若授权下证）	专利证原件（若授权下证）

• 日期

  法律信息

  备注