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著 录 项 目:
专利/申请号: | CN201811450009.7 | 专利名称: | 一种磁控溅射镀膜机用基片转移保护装置 |
申请日: | 2018-11-30 | 申请/专利权人 | 湖南文理学院 |
专利类型: | 发明 | 地址: | 湖南省常德市武陵区洞庭大道3150号 |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | H01L21/677分类检索 镀膜机 磁控专利转让搜索 |
公开/公告日: | 2021-03-23 | 转让价格: | 面议 【平台担保交易】 |
公开/公告号: | CN109300831B | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
摘 要:本发明公开了一种磁控溅射镀膜机用基片转移保护装置,包括立杆和连接头,所述立杆的下方固定有通气管,且通气管的下方安装有防护罩,所述防护罩的内表面安装有出气盘,所述滑座的上方安装有支撑杆,所述连接头的下方与支撑杆的上端相互连接,且连接头的外侧通过承重架与承托盘相互连接,所述立杆的上端从下往上依次从连接头、承托盘和调控盒的表面贯穿,所述立杆的下端通过通气管与出气盘为贯通连接。该磁控溅射镀膜机用基片转移保护装置,在拾取基片时,拉杆带动活塞进行上下移动,起到了对基片进行散热的作用,并且当活塞向上移动时,防护罩内部的一瞬间的气体小于外界的气压,从而便于将基片吸出。
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
专利转让委托书(需盖公章)一式两份 | 专利转让委托书(需签字)一式两份 | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
解除代理委托书(需盖公章)一式两份(如专利通过代理机构申请) | 解除代理委托书(需签字)一式两份(如专利通过代理机构申请) | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
专利证原件(若授权下证) | 专利证原件(若授权下证) |
日期 | 法律信息 | 备注 |