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一种浸润性梯度表面的加工方法

Name: 一种浸润性梯度表面的加工方法
Brand: 浙江工业大学
SKU: 2021108565819
Availability: InStock

📄 申请号：CN202110856581.9 📄 发布日：2026/08/04

著录项目信息

申请日

2021-07-28

公开号

CN113772621B

公开日

2024-06-07

申请人

浙江工业大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

B81C1_00

IPC 分类号

B81C1_00

技术画像

所属领域

表面改性表面改性微纳加工浸润性调控

应用场景

微流控, 生物医学, 液滴操控, 自清洁材料

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摘要

一种浸润性梯度表面的加工方法，包括如下步骤：(1)设计和绘制版图：绘制示意图，版图结构布局具有斐波那契螺旋阵列结构；设计版图参数,硅片区域内版图中微圆柱圆心与圆域圆心距离变化；绘制版图，实现圆域内从中心向外由疏到密的结构；(2)版图加工，完成微结构设计之后，先用intellisense进行刻蚀的三维仿真，再使用光刻机加工出硅片，加工多片微圆柱高度不同的硅片进行对比；(3)对加工完成图浸润性梯度微结构进行实验测试：对硅片进行加热到莱顿弗罗斯特点的温度，通过注射器向微结构表面滴入液滴，通过观察液滴具体的运动状态和液‑气相变过程，对微结构进行优化设计并总结归纳实验现象。本发明提供了对莱顿弗罗斯特现象的一种全新应用设计。

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权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

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当前第 / 件

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