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基于空气模法的光滑倾斜底面微结构阵列表面制备方法

Name: 基于空气模法的光滑倾斜底面微结构阵列表面制备方法
Brand: 江苏大学
SKU: 2020110487921
Availability: InStock

📄 申请号：CN202011048792.1 📄 发布日：2026/10/12

著录项目信息

申请日

2020-09-29

公开号

CN112299363B

公开日

2024-03-19

申请人

江苏大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

B81C1_00

IPC 分类号

B81C1_00

技术画像

所属领域

微纳制造微纳制造微结构阵列制备光学微结构

应用场景

光学器件, 微透镜阵列, 显示面板, 半导体制造, 精密仪器

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摘要

本发明公开了基于空气模法的光滑倾斜底面微结构阵列表面制备方法，涉及功能表面制备技术领域。先制备出具有微孔阵列的表面；再制备出一辅助微结构聚合物模板，并对辅助微结构聚合物模板进行等离子体处理；经等离子体处理后的辅助微结构聚合物模板上均匀地铺展一层待成形的液态聚合物薄膜；在微孔阵列表面的空白处放置间隙小球；将铺展有液态聚合物薄膜的辅助微结构聚合物模板放置于微孔阵列表面上的间隙小球上，保持该状态送入真空干燥箱；进而加热固化聚合物材料，分离表面从而实现光滑倾斜底面微结构阵列表面的制备。本发明通过空气模法成形，使辅助微结构聚合物模板上的不够光滑的结构被成形聚合物填充完整，可有效提升微结构表面质量。

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权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种基于空气模法的近圆柱面微凹槽阵列表面制备方法

当前第 / 件

一种片材微孔群表面的激光直写-激光扫描诱导协同方法

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