发明专利已授权

二自由度scott-russell柔性微纳定位平台

📄 申请号：CN201910243175.8 📄 发布日：2026/07/23

著录项目信息

申请日

2019-03-28

公开号

CN110065926B

公开日

2021-11-02

申请人

杭州电子科技大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

B81C1_00

IPC 分类号

B81C1_00 , B81C99_00 ,

技术画像

所属领域

微纳定位平台微纳定位平台柔性机构精密运动控制

应用场景

精密制造, 半导体加工, 光学对准, 微纳操作, 生物医学工程

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摘要

本发明公开了一种二自由度scott‑russell柔性微纳定位平台，本发明采用固有频率较高的压电陶瓷作为驱动元件，同时为了在实现较大的输出位移时保持良好的解耦性能，采用放大比大、解耦性好的桥式放大机构作为一级位移放大机构。本发明引入scott‑russell机构作为二级位移放大机构，采用scott‑russell机构作为位移放大机构，具有运动解耦性能优越、导向性能好的特点；本发明引入十字形解耦结构均布于中心运动平台四周，该十字形解耦结构在目标运动方向上刚度较小，在非目标运动方向上刚度较大，这样既有利于输出位移，实现较大的位移输出，又具有良好的解耦性能，确保较高的定位精度。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种塔机自动控制系统及方法

当前第 / 件

一种配电网络拓扑自动构建和可视化方法

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