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本发明公开了一种连续协同作业式模块化光催化辅助化学机械抛光装置及方法；该装置包括机床、模块化机械抛光模块、可调式紫外光灯照射模块和抛光安装模块。模块化机械抛光模块装夹在机床的主轴上。模块化机械抛光模块包括沿着主轴的周向依次排列的多个模块化叶片。本发明在叶片状的抛光结构上方布置紫外灯，使得紫外灯射出的紫外光能够通过抛光叶片之间的缝隙照射到抛光液和试样上，从而引发光催化辅助的化学腐蚀，实现了光催化化学腐蚀与机械抛光的同时执行，避免了现有技术中先将试样置于光催化装置中处理，再置于机械抛光机床中加工的复杂操作并提高了抛光效率。同时，本发明通过相邻的模块化叶片内端相互嵌合减小安装模块化叶片的槽盘直径。

本发明公开了一种SiC单晶片的超声辅助电化学机械抛光加工装置及方法，SiC单晶片和不锈钢电极分别与脉冲电源的正极和负极相连，在抛光液中构成闭合回路，晶片作为阳极发生阳极氧化生成一层氧化膜，在通过抛光垫和磨粒机械性地去除氧化层该方法抛光材料去除效率高，机械抛光不会对SiC单晶基材造成损失；且不会消耗大量电能，节能环保，另外本发明加工装置简单，加工方法易实现，适合大范围推广使用。

本发明提供一种用于聚晶类金刚石刀具的机械抛光方法，具体步骤为：利用圆弧刃抛光机对聚晶类金刚石刀具的后刀面进行抛光，得到后刀面表面粗糙度为1nm和刀具后角为10°的聚晶类金刚石刀具；根据聚晶类金刚石刀具中刃口半径的预测公式，选取抗压强度高的金属保护层；利用真空焊接机在聚晶类金刚石刀具的后刀面烧结一层金属保护层；利用平面抛光机对聚晶类金刚石刀具的前刀面进行机械抛光；根据聚晶类金刚石刀具的特性，利用化学溶解试剂对得到的聚晶类金刚石刀具后刀面上的金属保护层进行溶解，直到金属保护层从聚晶类金刚石刀具后刀面上完全脱落。本发明有效抑制刀具切削刃边缘晶粒脱落引起的崩口，从而减小聚晶类金刚石刀具的切削钝圆半径。

本发明提供一种纳米多晶金刚石圆弧刃车刀的化学机械抛光方法，步骤为：制备A型和B型抛光液；利用浸水状态下的玻璃盘作为粗抛抛光盘，通过夹具将纳米多晶金刚石圆弧刃车刀放于玻璃细盘上，设定粗抛工艺参数，并利用A型抛光液对纳米多晶金刚石圆弧刃车刀进行粗抛，得到切削刃钝圆半径为100mm‑200nm的纳米多晶金刚石圆弧刃车刀；选取具有惰性且硬度适中的氧化铝作为磨粒，通过夹具将纳米多晶金刚石圆弧刃车刀放于玻璃细盘上，设定精抛工艺参数，并利用B型抛光液对纳米多晶金刚石圆弧刃车刀进行抛光，得到钝圆半径小于50nm的纳米多晶金刚石圆弧刃车刀。本发明具有更高的材料去除率，得到具有锋利刃口的纳米多晶金刚石圆弧刃车刀。

本申请公开了一种用于光辅助化学机械抛光的载具以及抛光加工方法，载具包括光源底座、光源聚焦装置以及晶圆安装座；光源底座与晶圆安装座分别设置于光源聚焦装置的两端；光源底座用于安装在抛光机上，光源底座上安装有光源；光源聚焦装置包括防护罩、第一凸透镜以及第二凸透镜，第一凸透镜与第二凸透镜同轴间隔设置在防护罩内，防护罩内设置有驱动件，用于驱动第二凸透镜靠近或远离第一凸透镜运动；光源通过外部红外遥控开光控制其光照强度；晶圆安装座上设置有光强传感器，光强传感器用于将信号反馈至外部处理器，外部处理器将光照强度值显示在显示器上。本申请能够提高晶圆加工质量。

本发明提供了一种化学机械抛光液用硅溶胶，通过高岭土提纯处理，利用制浆分级获得磁选料-梯度磁选除铁钛-焙烧增白-高温钙化，最终获得硅溶胶原料用氧化硅，有效的提高了高岭土在抛光领域的使用范围，便于向高精度化学机械抛光领域拓展，且制备的氧化硅纳米颗粒尺寸均一，分散性良好，适于作为蓝宝石抛光液中硅元素的原材料。