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本实用新型属于晶圆的生产处理设备技术领域，具体涉及一种晶圆烘干装置，解决了现有技术中存在烘干不均匀，工作效率低的问题，包括箱体和底板，所述底板的内部转动安装有转轴，所述转轴的顶部通过螺丝固定连接有转盘，通过转轴和烘干灯等结构的设置，烘干灯开始加热，电机也开始转动，第二斜齿轮带动第一斜齿轮转动，此时转轴也随着第二斜齿轮一起转动，转盘上的晶圆也会随之转动，圆盘底部的凸块将推动直杆向一侧移动，然后斜块推动推杆上下移动，由于连杆的转动安装在长槽的内部推杆推动连杆的时候，连杆另一端的烘干灯将会向下移动，将电机一直转动，转盘液会一直转动，带动烘干灯上下晃动，完成均匀烘干。

本实用新型公开了一种晶圆喷砂双供料机，其包括喷砂机，喷砂机包括喷砂机本体和履带输送机，喷砂机本体设置在履带输送机中部的上端，履带输送机的两端伸出喷砂机本体；喷砂机设置有两台，喷砂机分别设置在双供料机的左右两侧，双供料机包括工作台、双供料机构、搬运机构、输送机构和放料机械手；本实用新型通过双供料机构的设置，能同时向两个喷砂机供料，减少了上料的频率，通过搬运机构、输送机构和放料机械手能对晶圆自动进行搬运，提高了设备的自动化程度，避免了人工的搬运，大大提高晶圆喷砂的效率，通过气浮分离模组和输送机构的设置，减小了晶圆的叠片率，提高了晶圆喷砂上料的稳定性，保证了喷砂质量。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利

本实用新型公开了一种自动打码插片机，其包括机架，机架的上方设置有放料机构、输送机构、搬运机构、装篮组件和打标机，放料机构用于储放晶圆，其设置在传输机传输起点的一侧，打标机设置在传输机的另一侧，搬运机构用于将晶圆从放料机构搬运到传输机上，通过打标机对晶圆进行打标，打标结束后，传输机将晶圆输送到传输终点并通过推料气缸、推料块以及篮具顶升模组将晶圆放入篮具组件内。本实用新型将晶圆的打标和收篮集成到一个设备内，避免了人工的搬运，节约了用工成本，大大提高晶圆打标和收篮的效率，晶圆收篮产能达到了800‑1200Pcs/H，装篮操作省时省力，同时叠片率小于1％，碎片率小于3‰，也保证了收篮质量，适于推广应用。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利

本实用新型公开了一种晶圆烘干装置，其包括机架，机架上设置有烘干机构，烘干机构包括安装型材、加热台、冷却台、接料杆、凹槽、第一气缸、连接脚、滑轨、导向块、连接块和第二气缸，若干个加热台等距离设置在安装型材的上端，安装型材的上端还等距离设置有若干个冷却台，冷却台设置在加热台的右端，本实用新型通过烘干机构的设置，实现了在晶圆的连续涂源后，不间断地对晶圆进行的烘干和冷却，通过多个加热台和冷却台的设置，在保证了烘干质量的同时，也能对烘干的晶圆进行冷却，无需再转移晶圆进行冷却，便于工作人员进行收料装盘，节约了等待时间也提高了生产效率。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利

本实用新型公开了一种单轨硅片收篮机，其包括机架，机架的上方设置有放料机构、输送机构、搬运机构和装篮组件，放料机构用于储放晶圆，其设置在传输机传输起点的一侧，搬运机构用于将晶圆从放料机构搬运到传输机的传输起点上，传输机将晶圆输送到传输终点并通过推料气缸、推料块以及篮具顶升模组将晶圆放入装篮组件内。本实用新型通过放料机构、输送机构、搬运机构、装篮组件和篮具顶升模组的设置实现了自动对晶圆的分片收篮，降低了用工数量，节约了用工成本，大大的提高工作效率，晶圆收篮产能达到了1000‑1200Pcs/H，装篮操作省时省力，同时叠片率小于1％，碎片率小于3‰，也保证了收篮质量，适于推广应用。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利