一种基于RAFT聚合法制备248nm深紫外光刻胶成膜树脂

摘     要：本发明公开了一种基于RAFT聚合法制备248nm深紫外光刻胶成膜树脂，属于深紫外光刻胶领域。该光刻胶成膜树脂主要是以2-(十二烷基三硫代碳酸酯基)-2-甲基丙酸为RAFT试剂，4-乙酰氧基苯乙烯、苯乙烯、丙烯酸叔丁酯和2-甲基-2-甲基丙烯酸金刚烷酯为共聚单体，在自由基引发剂的条件下，以丙二醇甲醚醋酸酯为反应溶剂进行溶液聚合，合成具有较低分子量分布的共聚物，再加入一定量的甲醇钠和甲醇进行醇解，得到在248nm出具有高的透明性的共聚物，最终应用在248nm光刻胶中。本发明制备简单，反应条件温和，所得共聚物分子量分布较窄，能较好的控制分子量大小，适用于248nm深紫外曝光。

著 录 项： 

• 1． 买家选定所需专利，确认国家手续办理方，下单，确认交易合同；
  2． 卖家确认专利可交易；
  3． 买家支付交易款项到平台；
  4． 买卖双方签订《专利转让委托书》、《转让协议》、《解除代理委托书》各一式两份并提交给办理国家手续方；
  5． 办理国家手续方提交办理官方手续，国家知识产权局1个月左右下发《著录项目变更手续合格通知书》；
  6． 买家确认收到《专利证书》、《著录项目变更手续合格通知书》；
  7． 平台把交易款项支付给卖家，至此专利转让合同完成。
  

• 交易方	企业	个人
  买家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（签字）
  	专利转让委托书（需盖公章）一式两份	专利转让委托书（需签字）一式两份
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  卖家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（需申请人签字）
  	解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请）	解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请）
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  	专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件	专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件
  	专利证原件（若授权下证）	专利证原件（若授权下证）

• 日期

  法律信息

  备注