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摘 要:本发明提出一种激光干涉纳米光刻制备双重周期纳米结构的方法,利用入射光束与调制光束的特定组合方式对干涉光场进行周期性调制,形成的干涉周期、调制周期在内的双重周期纳米结构,结合不同材料的光刻特性,在材料表面直接制造双重周期纳米结构。突破了激光干涉光刻技术制造二维单一周期性结构的局限性。
著 录 项:
专利/申请号: | CN201210523661.3 | 专利名称: | 一种激光干涉纳米光刻制备双重周期纳米结构的方法 |
申请日: | 2012-11-30 | 申请/专利权人 | 长春理工大学 |
专利类型: | 发明 | 地址: | 吉林省长春市卫星路7089号 |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | G03F7/20搜分类 激光 干 光刻 纳米搜索 |
公开/公告日: | 2014-06-11 | 转让价格: | 面议 |
公开/公告号: | CN103852975A | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
专利转让委托书(需盖公章)一式两份 | 专利转让委托书(需签字)一式两份 | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
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专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
专利证原件(若授权下证) | 专利证原件(若授权下证) |
日期 | 法律信息 | 备注 |