发明专利已授权

一种用于氮化物前躯体的脱卤液及脱卤方法

📄 申请号：CN202110458365.9 📄 发布日：2026/07/23

著录项目信息

申请日

2021-04-27

公开号

CN113173563B

公开日

2022-10-21

申请人

安徽工业大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

C01B21_068

IPC 分类号

C01B21_068 , C01B21_064 , C01B21_076 , C01B21_06 , C01B21_072 ,

技术画像

所属领域

前驱体合成前驱体合成化学提纯半导体材料

应用场景

半导体制造, 集成电路, LED芯片, 化学气相沉积, 高纯材料制备

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摘要

本发明公开了一种用于氮化物前躯体的脱卤液及脱卤方法，属于无机非金属材料技术领域。本发明的脱卤液以液氨为溶剂，以有机碱为脱卤活性物质，脱卤活性物质占脱卤液总质量的0.05～0.5％。本发明的脱卤方法由氮化物前驱体在脱卤液中的搅拌脱卤、超声‑超细球磨强化脱卤、真空焙烧脱卤等步骤组成。本发明应用于氮化物前驱体中F、Cl、Br、I等卤素离子的脱除时，具有卤素离子脱除率高、操作过程简单、成本低等特点，在高纯氮化物材料的工业生产和制备领域应用前景广阔。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

20221021

✅ 授权

20210813

?? 实质审查的生效：

20210727

📄 公开

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