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摘 要:本发明公开了一种溶菌酶二维纳米薄膜作为光刻胶的应用。本发明以溶菌酶二维纳米薄膜作为光刻胶,其组分为从自然界能够广泛获取的天然生物分子溶菌酶,避免了传统光刻胶在人工合成时造成的环境污染,且溶菌酶二维纳米薄膜透明度较高,粗糙度低,厚度可控,不需要涂胶、烘焙等繁琐工艺,在制备溶菌酶二维纳米薄膜的过程中只需原位生长于基片表面或直接将制备好的溶菌酶二维纳米薄膜粘附在基片表面,易实现大面积制备,且其具有较好的紫外、电子束敏感度,可用紫外、电子束方式曝光,曝光之后仅需用水显影,对环境无污染,显影效果较好;其同时还具有良好的抗刻蚀性能,在刻蚀后可选用盐酸胍水溶液、醋酸水溶液、乙二酸水溶液去胶。
著 录 项:
专利/申请号: | CN201510724455.2 | 专利名称: | 溶菌酶二维纳米薄膜作为光刻胶的应用 |
申请日: | 2015-10-29 | 申请/专利权人 | 陕西师范大学 |
专利类型: | 发明 | 地址: | 陕西省西安市长安南路199号 |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | G03F7/004搜分类 生物酶 胶 塑料 纳米薄膜 光刻 光刻胶搜索 |
公开/公告日: | 2019-12-03 | 转让价格: | 面议 |
公开/公告号: | CN105204291B | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
专利转让委托书(需盖公章)一式两份 | 专利转让委托书(需签字)一式两份 | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
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日期 | 法律信息 | 备注 |