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摘 要:本发明公开了一种卷对卷铜箔精密LDI曝光机,四组的快速定夹结构的初始速度均为8cm/s,后逐渐衰减为零并且依托其内部的机械拖臂运动,机械拖臂的左端连接有“7”型的扣架,扣架的凹陷端与基板接触吸合,机械拖臂的右端包括有压缩簧,在需要对基板进行转移时,在光线扫描器的基础下使扣架快速弹射至基板周围,在靠近后再减速进行吸附,减少在加工过程中机械运动转移的时间,提高机械转移效率,并且气吸配合小电球静电的吸附方式会使干膜基板在转移的时候更加的稳定。
著 录 项:
专利/申请号: | CN202110470798.6 | 专利名称: | 一种卷对卷铜箔精密LDI曝光机 |
申请日: | 2021-04-28 | 申请/专利权人 | |
专利类型: | 发明 | 地址: | |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | G03F7/20搜分类 L LED芯片搜索 |
公开/公告日: | 转让价格: | 面议 | |
公开/公告号: | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
专利转让委托书(需盖公章)一式两份 | 专利转让委托书(需签字)一式两份 | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
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专利证原件(若授权下证) | 专利证原件(若授权下证) |
日期 | 法律信息 | 备注 |