实用新型已授权

一种低压扩散炉门

📄 申请号：CN202123389997.9 📄 发布日：2026/07/31

著录项目信息

申请日

2021-12-30

申请人

江苏圣锦硅业新材料有限公司

法律状态

已下证

专利类型

实用新型

主分类号

F27D1_18

IPC 分类号

F27D1_18 , H01L21_22 ,

技术画像

所属领域

半导体制造设备半导体制造设备扩散炉炉门密封结构

应用场景

半导体晶圆制造, 集成电路扩散工艺, 光伏电池片生产

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摘要

本实用新型公开了一种低压扩散炉门，包括门框，所述门框的内侧铰接有低压扩散炉门主体,低压扩散炉门主体的分别固定安装有第一固定座、第二固定座和安装法兰，且第一固定座上放置有T型杆，同时第一固定座与T型杆的连接处开设有通孔，该实用新型，通过将T型杆插接到握杆套的内部，当对握杆套进行更换时，只需通过旋转T型杆使T型杆与第一固定座和第二固定座分离，随后即可将握杆套从T型杆上取下进行更换即可，从而有利于保证握持舒服度，同时利用防滑圈和固定圈的移动，通过将防滑圈与低压扩散炉门主体贴合，有利于对转动圈和连接管进行限位，避免了由于转动圈和连接管的松动降低了密封效果，进而提高了该装置的实用性。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种耐高温电弧高纯石英坩埚

当前第 / 件

一种可预防静电便于分层拆卸维修的饮水机外壳

同领域国内专利 · IPC: (F27D1_18)

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¥2200.0 元

不含过户费

📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：4 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 未申报

资金托管权属尽调包过户

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