实用新型 已授权

一种耐高温电弧高纯石英坩埚

📄 申请号:CN202123398250.X 📄 发布日:2026/03/27

著录项目信息

申请日
2021-12-31
申请人
江苏圣锦硅业新材料有限公司
法律状态
已下证
专利类型
实用新型
主分类号
IPC 分类号

技术画像

应用场景

光伏硅片制造, 半导体晶圆制造, 单晶硅拉制, 高温熔炼, 电弧熔融工艺

摘要

本实用新型公开了一种耐高温电弧高纯石英坩埚,包括埚体、手持件、埚沿、埚盖和排气口,所述埚体内壁的一侧印有刻度,埚体底部内缘的三角环形设置有防滑筋,埚体底部外缘的三角环形设置有支足,埚体外壁的四侧环形设置有手持件,所述手持件由挡片、持耳、耳孔和角片组成,挡片环形设置在埚体外壁的四侧,挡片底部的中心连接持耳的顶部,持耳的中心开设有耳孔,持耳两侧的顶端对称设置有角片;该实用新型,优化了排气机构,对气体进行引导,降低了封堵风险,避免了盖体被气压顶起的问题,热气流失量小,确保了坩埚的加热效率,工作更加可靠,且取放过程中埚、盖不易掉落,消除了安全风险,保障了人员的身体健康。
权利要求书 (12项) 说明书 附图

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图1
图2
图3

法律状态时间线

20220524
✅ 授权

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