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摘 要:本发明公开了一种以Cr/CrAlN为过渡层在不锈钢表面制备金刚石薄膜的方法,其特征在于:包括以下步骤:S1:不锈钢样品前处理:将不锈钢样品进行砂纸打磨,用丙酮和无水乙醇超声处理,烘干备用;S2:不锈钢表面沉积Cr/CrAlN过渡层:将S1步骤中的不锈钢样品装入磁控溅射设备的样品台,将Cr、Al靶材安装到靶座上,在不锈钢基底表面沉积Cr膜及CrAlN薄膜,得到含Cr/CrAlN过渡层的不锈钢样品;S3:在不锈钢表面制备金刚石薄膜:将S2步骤中含Cr/CrAlN过渡层的不锈钢样品进行超声种晶,利用热丝HFCVD进行沉积金刚石薄膜,实现在含Cr/CrAlN为过渡层的不锈钢表面上制备金刚石薄膜。采用本发明的技术,使金刚石膜与不锈钢之间结合力高,在洛氏硬度计150 kg载荷作用下薄膜未发生脱落。
著 录 项:
专利/申请号: | CN201911055503.8 | 专利名称: | 一种以Cr/CrAlN为过渡层在不锈钢表面制备金刚石薄膜的方法 |
申请日: | 2019-10-31 | 申请/专利权人 | 浙江工业大学 |
专利类型: | 发明 | 地址: | 浙江省杭州市下城区潮王路18号 |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | C23C16/27搜分类 不锈钢 表 塑料 C R L LED芯片搜索 |
公开/公告日: | 转让价格: | 面议 | |
公开/公告号: | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
专利转让委托书(需盖公章)一式两份 | 专利转让委托书(需签字)一式两份 | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
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专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
专利证原件(若授权下证) | 专利证原件(若授权下证) |
日期 | 法律信息 | 备注 |
2021/11/02 | 授权 | |
2020/01/24 | 实质审查的生效 | IPC(主分类): C23C 16/27 专利申请号: 201911055503.8 申请日: 2019.10.31 |
2019/12/31 | 公开 |