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摘 要:固体薄膜纳米压痕连续测量仪,包括底座、水平气动定位装置、Z轴定位装置、显微镜瞄准装置,所述的水平气动定位装置包括气浮定位平台底座、兼做X轴气动定位平台的导轨、Y轴气动定位平台、电机轴座、电机、电机推杆、气浮滑块和顶板;所述的Z轴定位装置包括Z轴加载块、过渡板、滑台、加载块压箱、步进电机、丝杆;所述的显微镜瞄准装置包括显微镜本体、线圈磁铁驱动器、压针和用于探测压针位移的位移传感器,所述的压针与所述的线圈磁铁驱动器电连接。本发明的有益效果是:尤其适用于测量薄膜、镀层、微机电系统中的材料等微小体积材料力学性能;可以在纳米尺度上测量材料的各种力学性质。
著 录 项:
专利/申请号: | CN201310755263.9 | 专利名称: | 固体薄膜纳米压痕连续测量仪 |
申请日: | 2013-12-31 | 申请/专利权人 | 浙江工业大学 |
专利类型: | 发明 | 地址: | 浙江省杭州市下城区潮王路18号 |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | G01N3/40搜分类 固体薄膜 纳米压痕 连续测量仪搜索 |
公开/公告日: | 转让价格: | 面议 | |
公开/公告号: | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
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日期 | 法律信息 | 备注 |