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专利名称:
一种电子束辅助碳基超润滑固体薄膜制备装置及方法
申请号:
2020114201181
转让价格:面议
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法律状态:已下证 类型:发明 关键词:
电子 辅助 塑料 固体薄膜
相似专利
发布日:2023/10/17
摘要: 本发明公开一种电子束辅助碳基超润滑固体薄膜制备装置及方法,包括镀膜腔室、PVD靶材、样品台、待镀膜工件和电子束辅助沉积组件,所述待镀膜工件设置在所述样品台上,所述PVD靶材、所述样品台均设置于所述镀膜腔室内,所述PVD靶材和所述待镀膜工件对应设置,所述电子束辅助沉积组件提供的可控电子束设置在所述PVD靶材和所述待镀膜工件之间;本发明在镀膜工件表面附近添加一个辅助电子束源,用于控制镀膜样件表面的电子浓度和离子浓度,从而有效的抑制或控制不导电的碳基薄膜表面的电荷积累,获得微观结构与成分可控、性能显著提升的碳基超润滑固体薄膜。
专利名称:
固体薄膜纳米压痕连续测量仪
申请号:
2013107552639
转让价格:面议
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法律状态:已下证 类型:发明 关键词:
固体薄膜 纳米压痕 连续测量仪
相似专利
发布日:2024/09/25
摘要: 固体薄膜纳米压痕连续测量仪,包括底座、水平气动定位装置、Z轴定位装置、显微镜瞄准装置,所述的水平气动定位装置包括气浮定位平台底座、兼做X轴气动定位平台的导轨、Y轴气动定位平台、电机轴座、电机、电机推杆、气浮滑块和顶板;所述的Z轴定位装置包括Z轴加载块、过渡板、滑台、加载块压箱、步进电机、丝杆;所述的显微镜瞄准装置包括显微镜本体、线圈磁铁驱动器、压针和用于探测压针位移的位移传感器,所述的压针与所述的线圈磁铁驱动器电连接。本发明的有益效果是:尤其适用于测量薄膜、镀层、微机电系统中的材料等微小体积材料力学性能;可以在纳米尺度上测量材料的各种力学性质。
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