发明专利已授权

异构电机共定子多驱动宏微一体化高速精密运动二维平台

📄 申请号：CN201410696821.3 📄 发布日：2026/07/23

著录项目信息

申请日

2014-11-26

申请人

广东工业大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

B23Q5_28

IPC 分类号

B23Q5_28

技术画像

所属领域

精密运动控制精密运动控制宏微驱动技术多电机驱动系统

应用场景

半导体制造, 精密加工, 电子制造, 精密定位, 自动化装备

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摘要

本发明提出一种异构电机共定子多驱动宏微一体化高速精密运动二维平台，包括X/Y向基座、X/Y向导轨、滑块、U型直线电机、平板电机、U型直线电机定子、宏动动子、微动动子和宏微一体化平台。所述宏动平台与所述微动平台通过弹性构件联接形成一体化平台，安装在X向基座的定子为宏动平台的动子与控制微动平台X向微运动的动子共用，Y向通过压电陶瓷或解耦音圈电机进行精密位移补偿，当宏微动子同时驱动时，可实现整体大范围的高速运动；当出现运动偏差时，微动平台由于惯量小、无摩擦、通过弹性变形实现精密位移输出，可单独驱动实现高频运动偏差补偿。通过复合运动控制，可实现二维高速精密运动，安装使用方式与传统平台一致，方便推广应用。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种带增强柔性铰链组的刚柔耦合平台及运动平台

当前第 / 件

一种刚柔耦合旋转平台及其控制方法

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