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一种高精度微动位移产生装置，包括微动位移产生装置、激光测距及合力测量装置、位移传导装置、试样夹具装置、控制及数据采集装置；位移传导装置包括三个平行设置的第一支撑板、第二支撑板和第三支撑板，第二支撑板可滑动地嵌设在第一支撑板内，第三支撑板可滑动地嵌设在第二支撑板内；第三支撑板的两端相对有第一推块、第二推块，第二支撑板的两端相对设置有微动位移产生装置、激光测距及合力测量装置；第一推块的左端与微动位移产生装置固定连接，第二推块的右端与激光测距及合力测量装置抵接；第三支撑板的中部设有用于放置试样的试样槽。本发明可以产生高精度的微动位移，测量位移分辨率高。

本发明提出一种异构电机共定子多驱动宏微一体化高速精密运动二维平台，包括X/Y向基座、X/Y向导轨、滑块、U型直线电机、平板电机、U型直线电机定子、宏动动子、微动动子和宏微一体化平台。所述宏动平台与所述微动平台通过弹性构件联接形成一体化平台，安装在X向基座的定子为宏动平台的动子与控制微动平台X向微运动的动子共用，Y向通过压电陶瓷或解耦音圈电机进行精密位移补偿，当宏微动子同时驱动时，可实现整体大范围的高速运动；当出现运动偏差时，微动平台由于惯量小、无摩擦、通过弹性变形实现精密位移输出，可单独驱动实现高频运动偏差补偿。通过复合运动控制，可实现二维高速精密运动，安装使用方式与传统平台一致，方便推广应用。