发明专利已授权

一种基于压电陶瓷量测及补偿的宏微复合运动平台及应用

Name: 一种基于压电陶瓷量测及补偿的宏微复合运动平台及应用
Brand: 广东工业大学
SKU: 2019108101357
Availability: InStock

📄 申请号：CN201910810135.7 📄 发布日：2026/07/23

著录项目信息

申请日

2019-08-29

申请人

广东工业大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

B25H1_14

IPC 分类号

B25H1_14 , H02N2_18 , H02N2_02 ,

技术画像

所属领域

压电驱动技术压电驱动技术精密运动控制误差补偿技术

应用场景

半导体制造, 精密加工, 光学对准, 微纳测量, 工业自动化

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摘要

为了弥补现有技术中的刚柔耦合运动平台结构不合理造成的速度与精度无法统一的技术问题，本发明提供一种基于压电陶瓷量测及补偿的宏微复合运动平台及应用，包括能够直线运动的框形的宏平台、通过柔性铰链设置在宏平台内的微平台以及用于采集宏平台、微平台位移与速度的控制组件，其特征在于：还包括设置在宏平台内圈上的压电陶瓷；该压电陶瓷位于宏平台移动方向的后方，用于检测或补偿宏平台与微平台之间的压力。本发明中的压电陶瓷的连接既增大了刚柔耦合平台的刚度，减小带宽，从而减小高速运动过程中微平台的高频震动；又能够在宏平台到位之后保证微平台的运动补偿能力。

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权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

20230120

✅ 授权

20200225

?? 实质审查的生效：

20200124

📄 公开

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📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：30 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 未申报

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