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一种压电陶瓷连接的刚柔耦合运动平台控制方法

Name: 一种压电陶瓷连接的刚柔耦合运动平台控制方法
Brand: 广东工业大学
SKU: 2019108207281
Availability: InStock

📄 申请号：CN201910820728.1 📄 发布日：2026/07/23

著录项目信息

申请日

2019-08-29

申请人

广东工业大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

G05B13_04

IPC 分类号

G05B13_04

技术画像

所属领域

压电陶瓷压电驱动控制刚柔耦合机构运动控制系统压电陶瓷

应用场景

精密定位, 半导体制造, 微纳加工, 光学对准, 精密测量

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摘要

为了弥补现有技术中的刚柔耦合运动平台扰动无法完全抵消的技术问题，本发明提供一种压电陶瓷连接的刚柔耦合运动平台控制方法及应用。本发明所述方法以规划的位移和速度为参考输入，以工作平台的实际位移和速度作为反馈，以直线电机是否停止为切换控制的判断条件，分别建立相互独立的两个闭环控制系统。将平台的动力学响应方程等效转换成理想无扰形式的同时，提高刚柔耦合平台的刚度，减小系统带宽，从而降低了微平台在大范围高速运动过程中的低频振动，提高控制器的跟随性与响应时间，并在定位补偿阶段切换控制，由压电陶瓷促动器进行运动补偿，避免了大刚度下微平台驱动能力的不足，实现了高速精密运动。

常见问题

这项专利是否已经下证？

是的，该专利已下证，法律状态为“已下证”，公开号：

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当前标价为议价，可委托平台代购或预约谈判。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种基于压电陶瓷量测及补偿的宏微复合运动平台及应用

当前第 / 件

一种大承载柔性铰链导向机构

同领域国内专利 · IPC: (G05B13_04)

G05B13_00 G05B13_02 G05B13_04 覆盖3个领域

议价

不含过户费

📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：29 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 未申报

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🏢 淄博智来知识产权服务有限公司

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