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摘 要:本发明涉及一种等间距芯片阵列巨量转移的对位装置及方法,所述等间距芯片阵列巨量转移的对位装置包括:框架(1)、焊盘升降对位机构(2)、薄膜拉伸对位机构(3)和横向移动顶针机构(4);焊盘升降对位机构(2)通过水平横向移动和竖直移动调整焊盘的位置,薄膜拉伸对位机构(3)加紧拉伸薄膜并调整水平方向上的位置以对准焊盘;横向移动顶针机构(4)横向移动并通过刚柔耦合平台压紧薄膜。本发明专利从提升微小芯片阵列巨量转移的良率和效率出发,发明了一种等间距芯片阵列巨量转移的装置,实现芯片批量式转移,且转移良率高。
著 录 项:
专利/申请号: | CN201911124506.2 | 专利名称: | 一种等间距芯片阵列巨量转移的对位装置及方法 |
申请日: | 2019-11-18 | 申请/专利权人 | 广东工业大学 |
专利类型: | 发明 | 地址: | 广东省广州市大学城外环西路100号 |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | H01L21/67搜分类 集成电路搜索 |
公开/公告日: | 转让价格: | 面议 | |
公开/公告号: | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
专利转让委托书(需盖公章)一式两份 | 专利转让委托书(需签字)一式两份 | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
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专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
专利证原件(若授权下证) | 专利证原件(若授权下证) |
日期 | 法律信息 | 备注 |