发明专利已授权

灵敏度可调谐的基于谐振腔干涉结构的声波传感器

📄 申请号：CN202010953759.7 📄 发布日：2026/07/23

著录项目信息

申请日

2020-09-11

公开号

CN112254752B

公开日

2022-04-22

申请人

杭州电子科技大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

G01D5_48

IPC 分类号

G01D5_48

技术画像

所属领域

声波传感技术声波传感技术谐振腔结构干涉测量

应用场景

工业无损检测, 医疗诊断, 环境噪声监测, 结构健康监测

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摘要

本发明提出了一种灵敏度可调谐的基于谐振腔干涉结构的声波传感器，本发明通过热锁模的方法，将激光器输出中心频率锁定到参考谐振腔的透射谱线1/2位置，锁定后的信号经分束器送入传感器系统的干涉结构中，该信号经分路器分为两路，下一路经过由磁致伸缩材料实现的相位调制结构到达耦合器，上一路通过分路器和两个分路器构成两个用于干涉的谐振腔，其中上方的传感谐振腔接入用于声波检测的压电陶瓷换能器，这两个用于干涉的谐振腔的输出光束通过耦合器，与分路器分出的下路的光耦合出干涉结构，耦合器的中间输出端送入光电探测器，而后通过信号解调电路来处理信号，提取声波信息。该系统体积小，易集成，可进行声波信息的远程探测。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

20220422

✅ 授权

20210209

?? 实质审查的生效：

20210122

📄 公开

宽温区AC场增强DC场传感精度的谐振腔磁场传感系统

当前第 / 件

一种基于反常霍尔效应的灵敏度可调节的磁场传感器件

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