发明专利已授权

一种“面发射”波导激光器谐振腔的制备方法

📄 申请号：CN201910113237.3 📄 发布日：2026/07/23

著录项目信息

申请日

2019-02-14

申请人

聊城大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

H01S3_063

IPC 分类号

H01S3_063 , H01S3_06 ,

技术画像

所属领域

光波导光波导激光器谐振腔光学器件制备

应用场景

光通信, 光互连, 激光雷达, 光学传感, 激光器制造

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摘要

本发明提供一种新型“面发射”型波导激光谐振腔的设计和制备方案，属于集成光子学器件制备技术领域。在晶体片的侧面制备三条波导，其中两条较短的波导垂直于晶体大面，另一条较长的波导作为主谐振腔，并与前两条波导垂直。三条波导相连构成类“之”字形。利用精密金刚石刀切割的方法，在波导连接处分别切割形成两个沟槽作为全反射镜。其特点及优势主要包括：1.实现了类似半导体VCSEL激光器的面发射特性，有利于波导激光的后续封装；2.使波导激光器结构更为紧凑，降低了光路校对的难度，提高了系统稳定性；3.适用于各类全晶体波导激光器，易于推广。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种反MMI型波导马赫-曾德干涉器的制备方法

当前第 / 件

一种全晶体波导耦合器的制备方法

同领域国内专利 · IPC: (H01S3_063)

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议价

不含过户费

📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：16 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 未申报

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