发明专利 已授权

一种全晶体波导耦合器的制备方法

📄 申请号:CN201910113238.8 📄 发布日:2026/07/23

著录项目信息

申请日
2019-02-14
申请人
聊城大学
法律状态
已下证
专利类型
发明
主分类号
IPC 分类号

技术画像

应用场景

光通信, 数据中心, 光互连, 集成光路, 光信号处理

摘要

本发明提供一种基于全晶体波导的输入/输出耦合器的制备方法,其核心是利用全内反射原理,通过精密切割技术在波导样品适当位置制作全反镜,以实现波导模式信号的输入/输出属于集成光子学器件制备技术领域。其特点及优势主要包括:1.目前唯一可行的全晶体波导输入/输出耦合器制备方法;2.制备工艺简单,仅需在常规波导制备工艺的基础上增加若干次切割工艺;2.与传统光栅类耦合器相比,耦合效率得到显著提升;3.适用材料范围广,易于推广。
权利要求书 (12项) 说明书 附图

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图1
图2
图3

法律状态时间线

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